ETEL
主动隔离系统
QuiET主动隔离系统提供了一种消除地板振动和运动系统反作用力的解决方案,这对于高端半导体工艺中的稳定性保持至关重要。
特征
主动隔离系统:抵消地板振动和沿六自由度运动系统的反作用力,确保半导体工艺中的稳定性。
先进技术集成:与先进运动平台无缝集成,最大限度缩短移动和安定时间,同时补偿运动阶段的反作用力。
模块化且可扩展设计:结合有源和无源组件进行快速定制,兼容标准AccurET控制器,便于集成。
用户友好配置:采用图形界面,方便直观设置,包括参数自动调节和系统识别,提升易用性和效率。